Трыфтарыд азоту (NF3) Газ высокай чысціні
Асноўная інфармацыя
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Што гэта за матэрыял?
Трыфтарыд азоту (NF3) - газ без колеру і паху пры пакаёвай тэмпературы і атмасферным ціску. Ён можа быць звадкаваны пры ўмераным ціску. NF3 стабільны ў звычайных умовах і не раскладаецца лёгка. Аднак ён можа раскладацца пад уздзеяннем высокіх тэмператур або ў прысутнасці пэўных каталізатараў. NF3 мае высокі патэнцыял глабальнага пацяплення (GWP) пры выкідзе ў атмасферу.
Дзе выкарыстоўваць гэты матэрыял?
Ачышчальны сродак у электроннай прамысловасці: NF3 шырока выкарыстоўваецца як ачышчальны сродак для выдалення рэшткаў забруджванняў, такіх як аксіды, з паверхняў паўправаднікоў, плазменных дысплеяў (PDP) і іншых электронных кампанентаў. Ён можа эфектыўна ачысціць гэтыя паверхні, не пашкоджваючы іх.
Газ для тручэння ў вытворчасці паўправаднікоў: NF3 выкарыстоўваецца ў якасці газу для тручэння ў працэсе вытворчасці паўправаднікоў. Ён асабліва эфектыўны пры тручэнні дыяксіду крэмнія (SiO2) і нітрыду крэмнія (Si3N4), якія з'яўляюцца звычайнымі матэрыяламі, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці інтэгральных схем.
Вытворчасць злучэнняў фтору высокай чысціні: NF3 з'яўляецца каштоўнай крыніцай фтору для вытворчасці розных фторзмяшчальных злучэнняў. Ён выкарыстоўваецца ў якасці папярэдніка ў вытворчасці фторпалімераў, фторвугляродаў і спецыяльных хімічных рэчываў.
Генерацыя плазмы ў вытворчасці плоскіх дысплеяў: NF3 выкарыстоўваецца разам з іншымі газамі для стварэння плазмы ў вытворчасці плоскіх дысплеяў, такіх як вадкакрысталічныя дысплеі (ВК) і PDP. Плазма важная ў працэсах нанясення і тручэння падчас вырабу панэляў.
Звярніце ўвагу, што канкрэтнае прымяненне і правілы выкарыстання гэтага матэрыялу/прадукта могуць адрознівацца ў залежнасці ад краіны, галіны і мэты. Заўсёды выконвайце рэкамендацыі па тэхніцы бяспекі і пракансультуйцеся са спецыялістам перад выкарыстаннем гэтага матэрыялу/прадукта ў любых мэтах.
